ADEPT-1010型四級桿動態SIMS采用獨特的二次離子提取系統,該系統能夠提高二次離子傳輸性能。高的離子傳輸性能提高了深度分析的檢測限,使得ADEPT能夠出色完成對離子注入結構的深度和劑量檢測任務。這些離子注入過程中的關鍵參數測試的重復性精度可以控制在幾個百分點,符合半導體行業的需求。ADEPT-1010 的超高真空檢測環境有助于對低濃度大氣污染物進行深度剖析,同時保持了出色的深度分辨率和低濺射率。這種檢測能力對于高速半導體器件的檢測信息完整性而言至關重要。應用SIMetric軟件,實現高效快速測試的同時,ADEPT-1010能夠自動分析分析多個樣品,實現無人值守。
產品特點
·高靈敏度二次離子檢測光學系統
·懸浮電位離子槍適于淺注入層分析
·對大氣污染物組分具有低檢出限
·絕緣體深度分析
·高精度自動樣品臺
ADEPT-1010 專為淺層半導體注入和絕緣薄膜的自動分析而設計,是大多數半導體開發和支持實驗室的常用工具。通過優化的二次離子收集光學系統和超高真空設計,提供了薄膜結構檢測中的摻雜組分和常見雜質所需的靈敏度。